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径流分子泵

基本信息
所属分类:
径流真空泵
发布时间:
2021-11-11
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径流分子泵(简称径流泵)是新一代真空泵,该泵具有结构简单、能耗低、无油蒸汽污染和兼有强劲的中真空抽气能力,一举攻克了真空产业的三大难题。

径流泵与传统真空泵的性能比较

  ● 径流泵与分子泵相比,高真空性能大体持平,最高工作压强高出分子泵十倍。

  ● 径流泵与相近尺寸的罗茨泵相比,中真空抽速全面超越罗茨泵,其中,在低压等离子体放电区段(0.1~30Pa),抽速高出罗茨泵7~100倍,能耗不到罗茨泵1/3。

  ● 径流泵与抽速相近的罗茨泵相比,重量不到罗茨泵的1/10,能耗不到1/15。

  径流泵的问世,将开创真空产业的新时代。

优点:

  ● 结构创新:径流泵采用平圆盘转子取代传统分子泵的涡轮转子,攻克了分子泵易打片损坏的一大缺陷。

  ● 性能创新:在低压等离子体放电的主要区段0.1~30Pa一台径流泵能取代几台~几十台罗茨泵。

  ● 抽气工艺创新:不需要干泵,即可获得十分清洁的无油真空,大幅度降低了无油真空的费用,为无油真空进入工业应用领域扫清了障碍。

  ● 径流泵从理论创立、结构发明、直至产品转化,均由我国独立完成,是一项富有原创性的科技成果,对提升我国真空产业的自主创新能力发挥积极作用。

  ● 径流泵具有独立、完整、自主的知识产权。