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螺杆式真空机组生产厂家半导体合成行业

分类:
公司新闻
来源:
2021/11/23 17:21

罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,靠泵腔内一对“8”字形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。通常抽气速率较大,配置电机功率较小,故需要前级泵预抽,到前级泵抽到规定真空度后,启动罗茨真空泵,来提高抽速和真空度。它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似,工作时其吸口与被抽真空容器或真空系统主泵相接。罗茨真空泵的转子与转子之间,转子与泵壳之间互补接触。
主要优势
泵内运转件无摩擦,不用润滑,泵腔内无油,可获得清洁真空
二叶渐开线摆线型线,高精度精密机械加工确保运转平稳安静
泵腔内气体垂直流动,有利于被抽气体中的灰尘与冷凝物的排出
完全对称且精密动平衡的高强度转子运转平稳可靠
高密度齿轮,进口轴承,振动、噪音小
全新全方位立体水冷夹套设计,对泵体进行有效降温,大大延长泵使用寿命
过流面可镀镍、镀哈氏合金、衬四氟,可以适应不同强度的腐蚀性环境。
可以方便与液环真空泵、旋片真空泵、干式真空泵等组成罗茨真空机组

关键词:
合成
真空泵
转子
运转
气体
真空
之间
真空度
工作
平稳